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集团要闻

TFT光电行业的废气处理解决方案

作者: 来源: 日期:2020/11/18 7:54:36 人气:80
  在 TFT/LCD 行业的生产过程中积累的废气,包含了工艺气体硅烷(SiH4)、氨气(NH3)和一氧化二氮(N2O)的残留物。这其中的一些物质具有高腐蚀性、毒性或高易燃性,需要在使用点进行处理。中鼎联盛可以针对特定的废气处理问题为客户提供可靠的解决方案。

  采用中鼎联盛的废气处理系统实现的安全TFT/LCD生产

  制造 TFT/LCD 显示器需要进行废气处理。例如,在玻璃基板上生产大型薄膜晶体管(TFT)的工艺过程采用化学气相沉积(CVD)将薄膜分离到材料上。该过程需要定期清洗工艺室,并且通常会采用 NF 3 进行蚀刻。分离薄膜的蚀刻在通常情况下采用 CF 4 、 SF 6 和氯化气体,这将释放可以由燃烧/水洗系统或静电过滤器处理的大量废气混合物。
  由中鼎联盛设计的系统可以在工艺过程废气的起始点(使用点)对它们进行直接清洗,并可靠地减少危险物质。中鼎联盛专门为 TFT/LCD 行业开发了解决方案,可以安全地进行大批量处理,使废气满足法律要求。

  危险废气的安全处理

  在 TFT/LCD 行业的生产过程中积累的废气,包含了工艺气体硅烷(SiH4)、氨气(NH3)和一氧化二氮(N2O)的残留物。这些废气对环境以及生产设施的安全造成了显著的风险。在工厂的中央废气系统中混合不同的废气,通常会形成具有高易燃性或高爆炸性的气态混合物,这将造成严重的安全危害,因此必须始终加以避免。侵蚀性气体也会促使泵、阀门和管道加快腐蚀,从而进一步损害设施的安全性。废气流中包含的小颗粒物可能会沉积在管道内,并阻塞管道,这将导致增加维护,甚至引起停产。
中鼎联盛废气治理技术以灵活的集成系统概念为基础。我们的最小型设备可以装进占地面积小于 1 平方米的机房内。中鼎联盛技术为全自动技术,采用传感器进行控制,并且可以满足高的认证安全标准。
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